半導(dǎo)體制造面臨的三重監(jiān)測(cè)挑戰(zhàn)

5G通信、新能源汽車、人工智能等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，將半導(dǎo)體制造推向了新時(shí)代的戰(zhàn)略高度。芯片制程工藝日趨精密，對(duì)工藝介質(zhì)純度、晶圓表面品質(zhì)以及生產(chǎn)環(huán)節(jié)環(huán)保排放提出了極為嚴(yán)苛的管控要求在實(shí)際生產(chǎn)中，半導(dǎo)體行業(yè)智慧監(jiān)測(cè)解決方案需要應(yīng)對(duì)三大核心痛點(diǎn)：高純介質(zhì)雜質(zhì)管控嚴(yán)——電子級(jí)大宗氣體中ppb級(jí)痕量雜質(zhì)直接影響芯片良率；晶圓微觀缺陷難排查——刻蝕工藝中殘留的雜質(zhì)元素難以精準(zhǔn)定位；生產(chǎn)排污監(jiān)管難——光刻、刻蝕、清洗等環(huán)節(jié)產(chǎn)生的酸性、堿性、有機(jī)廢氣污染物種類復(fù)雜、排放波動(dòng)大。

全棧式技術(shù)矩陣，覆蓋半導(dǎo)體生產(chǎn)全流程

雪迪龍半導(dǎo)體行業(yè)智慧監(jiān)測(cè)解決方案圍繞“生產(chǎn)品質(zhì)+環(huán)保合規(guī)"雙主線，搭建了從工藝過程分析到末端排放管控的完整監(jiān)測(cè)體系。

超高純大宗氣體痕量雜質(zhì)檢測(cè)——守住芯片制程第一道防線

電子級(jí)超高純大宗氣體（H?、N?、Ar、He等）是芯片制程的關(guān)鍵介質(zhì)，其純度直接決定晶圓品質(zhì)。傲領(lǐng)Orthopure系列色譜儀采用HDID、FID雙檢測(cè)器配置，可精準(zhǔn)檢測(cè)H?、N?、Ar、CO、CO?、CH?、NMHC等ppb級(jí)痕量雜質(zhì)氣體，滿足連續(xù)品質(zhì)控制（CQC）的在線監(jiān)測(cè)需求。該方案已積累了豐富的項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn)，最終用戶覆蓋臺(tái)積電、三星、英特爾、英飛凌等國(guó)際半導(dǎo)體廠商-。

傲領(lǐng)Orthopure系列色譜儀

晶圓摻雜與缺陷分析——TOF-SIMS提供科學(xué)依據(jù)

芯片刻蝕工藝使用Cl?、HBr、He、O?等工藝氣體，易造成晶圓表面雜質(zhì)殘留和微觀缺陷。飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）作為半導(dǎo)體行業(yè)智慧監(jiān)測(cè)解決方案中缺陷分析的有效技術(shù)手段，可對(duì)晶圓表面進(jìn)行高靈敏度元素分析，為工藝優(yōu)化提供科學(xué)的數(shù)據(jù)支撐。

飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀

大氣污染物排放監(jiān)測(cè)——精細(xì)化管控廢氣排放

芯片光刻、刻蝕、薄膜沉積、清洗等工藝會(huì)產(chǎn)生酸性、堿性、有機(jī)類廢氣污染物。半導(dǎo)體行業(yè)智慧監(jiān)測(cè)解決方案針對(duì)不同廢氣類型配置專用監(jiān)測(cè)設(shè)備：酸性氣體（NOx、HF、HCl）采用紫外法CEMS或傅里葉紅外法CEMS；堿性氣體（NH?）采用原位高溫氣體在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)；有機(jī)廢氣（NMHC、苯系物）采用揮發(fā)性有機(jī)物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)；顆粒物則通過抽取式激光前散射粉塵儀或原位式激光后散射粉塵儀實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)。

紫外法CEMS                                        傅里葉紅外法CEMS

               原位激光氣體分析儀

堿性氣體監(jiān)測(cè)-NH?

原位高溫氣體在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

有機(jī)氣體監(jiān)測(cè)-揮發(fā)性有機(jī)物（NMHC)、苯系物

揮發(fā)性有機(jī)物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

顆粒物監(jiān)測(cè)

抽取式激光前散射粉塵儀                                                              原位式激光后散射粉塵儀

水污染物排放監(jiān)測(cè)——合規(guī)排放主動(dòng)管控

依據(jù)《排污單位自行監(jiān)測(cè)技術(shù)指南 電子工業(yè)》（HJ 1253-2022）要求，廢水總排口需自動(dòng)監(jiān)測(cè)流量、pH值、化學(xué)需氧量（CODCr）、氨氮等核心指標(biāo)。半導(dǎo)體液晶面板制造（有表面涂裝工序的）重點(diǎn)排污單位，還需增設(shè)總磷自動(dòng)監(jiān)測(cè)。雪迪龍水質(zhì)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)廢水排放的主動(dòng)管控與實(shí)時(shí)預(yù)警。

H2：FAQ——半導(dǎo)體行業(yè)智慧監(jiān)測(cè)常見問題

Q1：半導(dǎo)體行業(yè)智慧監(jiān)測(cè)解決方案主要適用于哪些企業(yè)？
A：該方案適配半導(dǎo)體晶圓制造、芯片封測(cè)、液晶面板生產(chǎn)等各類電子制造企業(yè)的智能化監(jiān)測(cè)需求。

Q2：超高純氣體中ppb級(jí)雜質(zhì)如何實(shí)現(xiàn)連續(xù)在線監(jiān)測(cè)？
A：傲領(lǐng)Orthopure系列色譜儀采用HDID和FID檢測(cè)器，可對(duì)H?、N?、Ar、CO、CO?、CH?、NMHC等雜質(zhì)進(jìn)行ppb級(jí)精準(zhǔn)檢測(cè)，滿足連續(xù)品質(zhì)控制需求。

Q3：半導(dǎo)體廢氣排放監(jiān)測(cè)需要監(jiān)測(cè)哪些污染物？
A：酸性氣體（NOx、HF、HCl）、堿性氣體（NH?）、有機(jī)廢氣（NMHC、苯系物）及顆粒物，需根據(jù)排口類型配置不同監(jiān)測(cè)設(shè)備。